EDA流程学习 - DRC/LVS/RCX Runset开发培训课程(DRC部分)
可以结合这篇文章看:EDA流程学习 - DRC中各种设计规则
有一个工具:scout,用来检查 DRC Code 是否书写正确。
最小宽度及最大宽度检查
根据单层与双层命令,可分为 5 类检查:
- 单层 INT:查单层图形的宽度
- 单层 EXT:查单层图形的间距
- 双层 INT:查一层图形伸入另一层图形的距离
- 双层 EXT:查两层图形的间距
- 双层 ENC:查一层图形被另一层图形包围的间距
A cut B:表示 A 有一部分和 B 重合,但不全部与 B 重合。
这个表示并不对称,下图中打勾的部分符合B cut A
:
Enclosed Area:空心的洞或者环的面积。
Parallel Run Length:两个图形相互投影,得到的重合长度。
两个例子:
ENCLOSURE TO GT <0.18 ABUT >0<90
,写了>0
那么刚好是0
的时候不会报错。EXTERNAL TB DN <3.5 MEASURE ALL
,如果不写MEASURE ALL
会导致被包含在TB
中的DN
不被检查。
规则有一些隐含含义:
规则描述 | 值 | 隐含含义 | 对应规则中的写法 |
---|---|---|---|
Min width of a SN region | 0.310 | 1. 如果图形中有锐角图形要报错 2. 如果图形中有点对点的奇异图形要报错 3. 在 SRAM 的区域 SN 的宽度可以比 0.31 微米小,因此要忽略 SRAM 区域 |
1. 加ABUT<90 2. 加 SINGULAR 3. 加 X not inside EXCL |
最大间距检测及measure_all选项
Layer 定义的解释:
- TO:Active 区域
- TB:Nwell 区域
- Pwell 区域:Pwell = Bulk not TB
- SP:P 型 Implant 区域
- P+ Active:SP 与 TO 重叠的区域 pdiff = SP and TO
- P 型 SD:P+ Active 位于 Nwell 区域内的图形,psd = pdiff and TB
- P 型 TAP:P+ Active 位于 Pwell 区域内的图形,ptap = pdiff not psd
- pdiff = psd + ptap
规则描述 | 值 | 隐含含义 |
---|---|---|
Min clearance from a SN region to a P+ active TO region (inside TB) | 0.180 | 1. 如果图形中有锐角图形要报错 2. 如果图形中有点对点的奇异图形要报错 3. 如果距离=0,不报错 4. 在 SRAM 的区域距离可以比 0.18 微米小 |
常识:SN 与 SP 可以相互 touch 在一起。
1 | rule { |
上述代码的含义是:
- 将 contact 放大 9um。
- 把扩大后的 contact 变成一层。
- 如果 poly 包围的 contact 大于 1,则报错。
等价理解就是 contact 的密度要足够大,大到每 18um 至少有一个,才能在这种放大后练成一片。
使用INSIDE of poly
是为了不让一个检验影响到另一个 poly。
使用STEP 0.02
是因为该值要小于 poly 的间距 0.05 的一半。
一般情况下,所有的间距检查选项都不需要 Measure all 的选项,但是 DN 和 TB 在工艺上比较特殊,所以要写。
Enclosure和EndOfLine及Extension检查
一般情况下,Enclosure 命令不需要加 Outside Also 的选项,但是针对 Metal 与 Via 的 Enclosure 需要添加。
金属线末端的 Via 会被要求其 Enclosure 更大一些。
检测方法是找到所有 Via 离 Metal 最近的边,这些边中如果有某个 Via 选出的边存在交点,则说明这个 Via 在 Metal 的 EndOfLine。
三种距离:
- 欧几里得距离
- 矩形距离
- 对边距离
ABUT >0<90
的含义:不能 touch,不能斜着伸出。
- touch:
- 斜着:
RectEnc及宽金属间距检查
Hierarchical 处理可以让同样的 cell 只被检查一遍。有两种方法:
- 提升法:只把有可能产生违例的图形提升到顶层,再进行检测。(例如距离某个层多少以内的图形)
- 优点:实现简单,容易理解
- 缺点:可能出现很多重复运算
- 投影法:把顶层单元的图形往下压。
- 优点:最大程度减少复杂运算,效率高
- 缺点:实现复杂,需要用到特殊结构来记录上下层关系(ILT, Inverse Layout Tree)
RunlengthSpacing和ConenctedSpacing检查
Line End 的判断:相邻角等于 90°,且两个角的对边长大于一定值,且两个角的另一条边小于一定值。
Density和Antenna检查
检测密度,使用窗口,以一定步长检测局部密度。
检测天线效应时,Poly 和 Contact 都是使用顶面积,金属是使用侧面积。
需要检测的内容是检查与 Gate 相连的某个 Layer 的面积与 Gate 的面积比值是否超过某个最大值。
有两种模式:
- Cumulative:需要将有连接关系的层面积累加再计算。
- Single Layer:只管检查指定的层。
复杂器件和先进工艺检查
Scout
DRCRunset图形化调试和分析
Xcal