以下参考：VLSI Concepts

一些DRC中用到的几何术语

一张图总览

如下图：

符号 层 说明 规则
A Diffusion Min Width >=W.D
B Diffusion Min Space >=S.D
E N-Well Min Width >=W.NW
G N-Well Min Space to N+ Diffusion/Active >=S1.NW
H N-Well Min Enclosure of P+ Diffusion/Active <=E.NW
J N-Well Min Enclosure of N select >=E1.NW
K Poly Min Width >=W.PC
M Poly Min Poly Extnsion On Diffusion >=E.PC
N Poly Min Diffusion Extension On Poly <=E1.PC
P Contact Width (Minimum = Maximum) =W.C
R Contact Min Space (When Contacts are on different Nets) >=S1.C
S Contact (Contact over Diff) minimum Space to Poly >=S2.C
U Contact Enclosure by Diff >=E.C
W Metal1 Min Width >=W.M
Y Metal1 Enclosure of Contact >=E.M

每层的一些要求：

  • Diffusion: DIFF must be fully covered by N/P select
  • Poly: Poly over Diff must Divide Diff into at least 2 Diff regions

以下参考：

A. B. Kahng, L. Wang and B. Xu, “TritonRoute-WXL: The Open-Source Router With Integrated DRC Engine,” in IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, vol. 41, no. 4, pp. 1076-1089, April 2022, doi: 10.1109/TCAD.2021.3079268.

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// metal layer
WIDTH defaultWidth ;
[MINWIDTH minWidth ;]
SPACINGTABLE
 PARALLELRUNLENGTH {length} ...
  {WIDTH width {spacing} ...}... ;
[SPACING minSpacing SAMENET [PGONLY] ;]
[MINSTEP minStepLength [MAXEDGES maxEdges] ;]
[SPACING eolSpacing ENDOFLINE eolWidth WITHIN eolWithin
 [PARALLELEDGE parSpace WITHIN parWithin [TWOEDGES] ;]] ...
[CORNERSPACING
  {CONVEXCORNER | CONCAVECORNER} [EXEPTEOL eolWidth]
  {WIDTH width SPACING spacing ;} ... ] ... ;
// cut layer
{SPACING cutSpacing [CENTERTOCENTER]
 [  ADJACENTCUTS numCuts WITHIN cutWithin [EXCEPTSAMEPGNET]
  | PARALLELOVERLAP
  | AREA cutArea] ;}...
[SPACING cutSpacingSN [CENTERTOCENTER] SAMENET ;]

Minimum width

利用一些线条来分割图形（水平、垂直方向上都需要），让图形只存在矩形，那么每个矩形在分割线方向上的尺寸必须满足 minimum width 的约束。

例如（注意左右是同一个图形）：

Metal short

如果两个最大矩形重叠，金属短接规则指定了两个不同网之间的最大矩形之间的短接违规。

最大矩形是指能够完全包围住连线或元件的最大面积矩形，它的边界与连线或元件的边界相切或重合。

Non-sufficient-metal overlap

同一网的两个最大矩形发生重叠，那么交叉部分的对角线长度必须大于或等于最小宽度。

Parallel run length (PRL) spacing

如果两个最大矩形满足如下条件：

  • 宽度大于 width
  • 平行运行长度（PRL）大于 length

那么两个最大矩形之间的间距必须大于或等于 spacing。

另外，通过制定 SAMENET spacing 或 PGONLY，可以指明 PRL spacing 生效的场景。

Minimum step

最小步长规则制定了多边形边的最短长度。
多边形边的长度必须大于或等于 minStepLength。
如果指定了 MAXEDGES，则允许最多 maxEdges 个连续的边长度小于 minStepLength。
maxEdges 值为 0 等同于不指定 MAXEDGES。

End-of-line (EOL) spacing

指定了 EOL 边到多边形外部的间距。
其中：

  • eolWidth：用来规定什么样的边能称作 EOL 边。
  • eolWithin：用来规定检测范围需要扩展多少距离。
  • eolSpacing：用来规定 EOL 边与外部边需要满足的间距规则。
  • parSpace：用来规定满足 RPL 边规则时 EOL 边与外部边需要满足的间距规则。
  • parWithin：用来规定平行运行长度多少才需要检测 parSpace。

Corner spacing

指定了从一个角到多边形外部的距离。

有一些配置：

  • CONVEXCORNER：表示该规则仅适用于凸角。
  • CONCAVECORNER：表示该规则仅适用于凹角。
  • EXCEPTEOL：指定如果该角连接到一个短于 eolWidth 的 EOL 边缘，该规则不生效。

对于间距查找，Corner spacing 的工作方式与 PRL spacing 类似，除了：

  • 该规则仅适用于非正 PRL 值。
  • 宽度仅考虑多边形的外部。

Cut short

如果两个 cut 重叠，则发生短路。

Cut spacing

指定两个 cut 的最小宽度。

有一些配置：

  • CENTERTOCENTER：从 cut 中心开始计算 spacing
  • ADJACENTCUTS：只有当存在小于 cutWithin 距离的 numCut 个切割时，规则才适用。
  • EXCEPTSAMEPGNET：只有两个 cut 不再同一电源或地线上时，规则才适用。
  • PARALLELOVERLAP：只有两个 cut 的 PRL 大于 0 时，规则才适用。
  • AREA：只有两个 cut 中的任何一个大于或等于 cutArea 时，规则才适用。
  • SAMENET：两个 cut 之间的间距必须大于或等于 cutSpacing 和 cutSpacingSN 的最小值。

以下参考：Dr. CU 2.0: A Scalable Detailed Routing Framework with Correct-by-Construction Design Rule Satisfaction∗

Parallel Run Length Spacing

End-of-line Spacing